1. ใช้โครงสร้างแบบเปิด, ซึ่งสะดวกสำหรับการถอดประกอบและบำรุงรักษา
2. ตะแกรงในตัวหรือระบบป้อนกลับแบบตะแกรงแม่เหล็ก, ความละเอียดคือ 0.1um, 0.5um, 1um, 5um สำหรับอุปกรณ์เสริม
3. นำมอเตอร์เชิงเส้นแบบแม่เหล็กเคลื่อนที่มาใช้
4. ความแม่นยำในการทำซ้ำสูงถึง ±1um;
5. ขนาดเล็กและโครงสร้างเรียบง่าย, ซึ่งเหมาะสำหรับงานเบาและโอกาสที่มีความแม่นยำสูง
6. ประกอบเข้ากับ XY cross stage ได้อย่างรวดเร็ว
