1. ฐานทำด้วยหินอ่อนพร้อมการออกแบบโมดูลาร์, ความแข็งแกร่งและความมั่นคงที่ดี
2. ใช้มอเตอร์เชิงเส้นระดับไฮเอนด์และตัวเข้ารหัสตะแกรง
3. นำระบบป้อนกลับมาตราส่วนแสงที่เพิ่มขึ้นมาใช้
4. ประกอบเป็น XY cross stage;
5. ความแม่นยำในการทำซ้ำสูงสุด ±1um (ภายในระยะชัก 500 มม.);
ผลรวมของ 1 หน้า
